Компания ACM Research осуществила первую поставку высокопроизводительной литографической системы Ultra KrF Track ведущему китайскому производителю логических пластин. Это событие, состоявшееся 15 октября 2023 года, знаменует выход нового продукта на рынок полупроводникового оборудования и укрепление позиций ACM Research в сегменте литографии.
Система Ultra KrF Track основана на проприетарной платформенной архитектуре, которая обеспечивает повышенную производительность и точность управления процессами. Аппарат предназначен для литографии с использованием источника света на основе фторида криптона (KrF) и оптимизирован для работы с технологическими нормами 180–55 нм. Ключевые характеристики системы включают производительность до 300 пластин в час, точность нанесения фоторезиста в пределах ±1,5 нм и снижение уровня дефектов на 20% по сравнению с аналогами.
Поставка системы осуществлена в рамках стратегического партнёрства с одним из крупнейших китайских производителей логических интегральных схем, чья доля на внутреннем рынке составляет порядка 18%. Это соглашение усиливает конкуренцию на рынке полупроводникового оборудования Китая, где традиционно доминируют такие компании, как ASML Holdings, Tokyo Electron Limited и Lam Research. Рыночная стоимость контракта оценивается в 35–40 млн долларов США.
Ожидается, что данная поставка укрепит рыночные позиции ACM Research в сегменте оборудования для зрелых технологических процессов и позволит компании увеличить свою долю на китайском рынке литографического оборудования с текущих 5% до 8–10% к концу 2024 года. Это также может способствовать дальнейшей локализации производства полупроводниковых компонентов в КНР в условиях глобальных ограничений на поставки высокотехнологичного оборудования.